超純水在線超聲隔膜球閥復(fù)合型2方球閥閥門

產(chǎn)品名稱: 超純水在線超聲隔膜球閥復(fù)合型2方球閥閥門

產(chǎn)品型號: A型

產(chǎn)品特點: 超純水在線超聲隔膜球閥復(fù)合型2方球閥閥門
日本 USL 推出的“純水超聲波清潔型 2 方球閥 A 型"是一款專為超純水（UPW）系統(tǒng)設(shè)計的隔膜-球閥復(fù)合結(jié)構(gòu)閥門，核心思路是“閥內(nèi)在線超聲+純水沖洗"，可在不拆解、不排放工藝管路的前提下，對閥腔、密封面及死角區(qū)的油脂、微粒進(jìn)行原位去除，滿足半導(dǎo)體、面板廠對“金屬離子、TOC、顆粒求。
結(jié)構(gòu)特點

超純水在線超聲隔膜球閥復(fù)合型2方球閥閥門 的詳細(xì)介紹

超純水在線超聲隔膜球閥復(fù)合型2方球閥閥門

日本 USL 推出的“純水超聲波清潔型 2 方球閥 A 型"是一款專為超純水（UPW）系統(tǒng)設(shè)計的隔膜-球閥復(fù)合結(jié)構(gòu)閥門，核心思路是“閥內(nèi)在線超聲+純水沖洗"，可在不拆解、不排放工藝管路的前提下，對閥腔、密封面及死角區(qū)的油脂、微粒進(jìn)行原位去除，滿足半導(dǎo)體、面板廠對“金屬離子、TOC、顆粒求。

結(jié)構(gòu)特點

閥體：兩段式全通徑 PTFE/PFA 襯里球閥，兩端法蘭口徑 2"（DN50），與純水主管路同徑，流阻小、無積液區(qū)
超聲單元：閥體外壁環(huán)形鑲嵌 6 片 40 kHz 超聲波換能器（功率 30 W×6），通過閥壁傳導(dǎo)形成空化，直接作用于閥腔液體
純水接口：閥腔上下各設(shè) 1/4" PFA 快擰口，可引入 18 MΩ·cm 超純水或藥液，形成“底部進(jìn)-頂部出"的錯流沖洗，配合超聲將剝離顆粒即時帶走
密封：一體式 PFA 隔膜 + 彈簧加載閥座，實現(xiàn)零外漏、零顆粒脫落，閥門等級 ISO Class 5 潔凈室包裝

性能參數(shù)

工作壓力：0.8 MPa
工作溫度：5 – 95 °C（超聲開啟時建議 ≤ 60 °C，以延長）
清洗節(jié)拍：純水沖洗 2 min + 超聲 3 min + 終淋 1 min，總耗時 6 min，顆粒去除率 ≥ 99 %（0.1 µm 基準(zhǔn)）
超聲空化強(qiáng)度：約 2 W cm?2，足以破壞油脂膜，但對 PTFE/PFA 襯里無損傷

一句話總結(jié)：USL“純水超聲波清潔型 2 方球閥 A 型"把環(huán)形 40 kHz 超聲+錯流純水沖洗集成到 2" PFA 襯里球閥，6 min 在線完成油脂/顆粒去除，TOC/顆粒度指標(biāo)滿足半導(dǎo)體級超純水系統(tǒng)要求，管路“零拆解"維護(hù)的經(jīng)濟(jì)型解決方案。

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