產(chǎn)品資料
超高壓緊湊型耐壓型高壓微流量自動(dòng)背壓閥
產(chǎn)品名稱: 超高壓緊湊型耐壓型高壓微流量自動(dòng)背壓閥
產(chǎn)品型號(hào): L.TEX9220系列
產(chǎn)品特點(diǎn): 超高壓緊湊型耐壓型高壓微流量自動(dòng)背壓閥日本 L-TEX 9220 系列是一款「節(jié)省空間?超高壓?自動(dòng)背壓閥」，把“電機(jī)-滾珠絲杠-活塞"全部做進(jìn)一個(gè) 96 mm 見方的鋁殼里，最高可穩(wěn)到 100 MPa，專門解決半導(dǎo)體/液晶清洗、超臨界萃取、高壓計(jì)量泵等場合的“小流量、高壓力、背壓不穩(wěn)"痛點(diǎn)。一句話：用比減壓閥還小的體積，實(shí)現(xiàn)背壓閥的超高精度與耐壓。核心信息如下：
超高壓緊湊型耐壓型高壓微流量自動(dòng)背壓閥 的詳細(xì)介紹
超高壓緊湊型耐壓型高壓微流量自動(dòng)背壓閥
超高壓緊湊型耐壓型高壓微流量自動(dòng)背壓閥
日本 L-TEX 9220 系列是一款「節(jié)省空間?超高壓?自動(dòng)背壓閥」，把“電機(jī)-滾珠絲杠-活塞"全部做進(jìn)一個(gè) 96 mm 見方的鋁殼里，最高可穩(wěn)到 100 MPa，專門解決半導(dǎo)體/液晶清洗、超臨界萃取、高壓計(jì)量泵等場合的“小流量、高壓力、背壓不穩(wěn)"痛點(diǎn)。一句話：用比減壓閥還小的體積，實(shí)現(xiàn)背壓閥的超高精度與耐壓。核心信息如下：
- 壓力規(guī)格
- 控制范圍：0.5–100 MPa（5 段量程彈簧可選，出廠標(biāo)定）
- 重復(fù)精度：≤ ±0.2 % F.S.（實(shí)測 70 MPa 點(diǎn) 10 萬次循環(huán)漂移＜0.05 MPa）
- 耐壓：150 MPa（閥體 316L 整體鍛打，無焊縫）
- 泄漏率：≤ 1×10?? Pa·m3/s（He 檢漏，金屬面密封）
- 流量與介質(zhì)
- Cv 值：0.06 / 0.15 / 0.3 三檔閥芯可換，最小可控流量 5 mL/min
- 介質(zhì)：純水、DI-water、超臨界 CO?、氟化液、H?O?、IPA 等（接液 316L + PCTFE/PEEK 密封圈可選）
- 溫度：0–90 ℃（標(biāo)準(zhǔn) Viton），高溫型 150 ℃（全 PTFE 彈簧腔）
- 驅(qū)動(dòng)與信號(hào)
- 電機(jī)：24 V DC 步進(jìn)電機(jī) + 滾珠絲杠，行程 8 mm，全行程時(shí)間 2 s
- 反饋：內(nèi)置 0–10 V 壓力傳感器（精度 ±0.1 %），同時(shí)輸出 4–20 mA & RS-485（Modbus RTU）
- 功耗：最大 18 W，穩(wěn)態(tài) 3 W，可 100 % 連續(xù)工作
- 體積與安裝
- 本體：96 × 96 × 120 mm（不含接頭），重量 2.8 kg，面板或支架任意方向
- 接口：1/4" HP 錐螺紋（Swagelok 60°）或 9/16"-18 UNF 超高壓平口，可 360° 旋轉(zhuǎn)接管
- 防護(hù)：IP54 正面，電子腔灌膠，可在機(jī)臺(tái)內(nèi)部密集并排安裝，節(jié)省 50 % 以上空間
- 典型用法
- 高壓計(jì)量泵后做“虛擬背壓"——替代傳統(tǒng)手調(diào)背壓閥 + 壓力表，閉環(huán)精度高 10 倍
- 單晶圓清洗機(jī)：100 MPa 微射流噴嘴前穩(wěn)壓，防止泵脈動(dòng)造成流量跳檔
- 超臨界 CO? 萃取：背壓 30–80 MPa 區(qū)間 0.1 MPa 步進(jìn)，提高萃取效率 15 %
- 高壓反應(yīng)釜：作為“泄壓/背壓"兩用，遠(yuǎn)程設(shè)定即可切換
- 選型提示
- 若流量＞3 L/min 或管徑≥3/8"，請(qǐng)選 9230 系列（Cv 0.6，體積 120 mm）
- 若控制壓力＜15 MPa，可選 9210 經(jīng)濟(jì)型（體積 80 mm，無 RS-485）
- 需要防爆場合，廠家提供 9220-EX 型（ATEX II 2G Ex db IIB T4 Gb）
一句話總結(jié)：L-TEX 9220 系列把“100 MPa 超高壓、±0.2 % 精度、96 mm 巴掌大"三件事同時(shí)做到，是高壓微流量系統(tǒng)里“最省空間、最穩(wěn)背壓"的自動(dòng)背壓閥。
日本 L-TEX 9220 系列是一款「節(jié)省空間?超高壓?自動(dòng)背壓閥」，把“電機(jī)-滾珠絲杠-活塞"全部做進(jìn)一個(gè) 96 mm 見方的鋁殼里，最高可穩(wěn)到 100 MPa，專門解決半導(dǎo)體/液晶清洗、超臨界萃取、高壓計(jì)量泵等場合的“小流量、高壓力、背壓不穩(wěn)"痛點(diǎn)。一句話：用比減壓閥還小的體積，實(shí)現(xiàn)背壓閥的超高精度與耐壓。核心信息如下：
- 壓力規(guī)格
- 控制范圍：0.5–100 MPa（5 段量程彈簧可選，出廠標(biāo)定）
- 重復(fù)精度：≤ ±0.2 % F.S.（實(shí)測 70 MPa 點(diǎn) 10 萬次循環(huán)漂移＜0.05 MPa）
- 耐壓：150 MPa（閥體 316L 整體鍛打，無焊縫）
- 泄漏率：≤ 1×10?? Pa·m3/s（He 檢漏，金屬面密封）
- 流量與介質(zhì)
- Cv 值：0.06 / 0.15 / 0.3 三檔閥芯可換，最小可控流量 5 mL/min
- 介質(zhì)：純水、DI-water、超臨界 CO?、氟化液、H?O?、IPA 等（接液 316L + PCTFE/PEEK 密封圈可選）
- 溫度：0–90 ℃（標(biāo)準(zhǔn) Viton），高溫型 150 ℃（全 PTFE 彈簧腔）
- 驅(qū)動(dòng)與信號(hào)
- 電機(jī)：24 V DC 步進(jìn)電機(jī) + 滾珠絲杠，行程 8 mm，全行程時(shí)間 2 s
- 反饋：內(nèi)置 0–10 V 壓力傳感器（精度 ±0.1 %），同時(shí)輸出 4–20 mA & RS-485（Modbus RTU）
- 功耗：最大 18 W，穩(wěn)態(tài) 3 W，可 100 % 連續(xù)工作
- 體積與安裝
- 本體：96 × 96 × 120 mm（不含接頭），重量 2.8 kg，面板或支架任意方向
- 接口：1/4" HP 錐螺紋（Swagelok 60°）或 9/16"-18 UNF 超高壓平口，可 360° 旋轉(zhuǎn)接管
- 防護(hù)：IP54 正面，電子腔灌膠，可在機(jī)臺(tái)內(nèi)部密集并排安裝，節(jié)省 50 % 以上空間
- 典型用法
- 高壓計(jì)量泵后做“虛擬背壓"——替代傳統(tǒng)手調(diào)背壓閥 + 壓力表，閉環(huán)精度高 10 倍
- 單晶圓清洗機(jī)：100 MPa 微射流噴嘴前穩(wěn)壓，防止泵脈動(dòng)造成流量跳檔
- 超臨界 CO? 萃?。罕硥?30–80 MPa 區(qū)間 0.1 MPa 步進(jìn)，提高萃取效率 15 %
- 高壓反應(yīng)釜：作為“泄壓/背壓"兩用，遠(yuǎn)程設(shè)定即可切換
- 選型提示
- 若流量＞3 L/min 或管徑≥3/8"，請(qǐng)選 9230 系列（Cv 0.6，體積 120 mm）
- 若控制壓力＜15 MPa，可選 9210 經(jīng)濟(jì)型（體積 80 mm，無 RS-485）
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