半導(dǎo)體用高純氣體在線交換式氣體加熱器

半導(dǎo)體用高純氣體在線交換式氣體加熱器

? 核心賣點

• 交換式（Cartridge）結(jié)構(gòu)：30 秒完成加熱芯更換，無需停氣、無需工具
• 高純對應(yīng)：全 316L EP 管 + VCR 接頭，Ra ≤ 0.25 µm，Particle ≤ 1 pc/L (≥0.2 µm)
• 高溫高精度：最高 200 °C，控制精度 ±0.5 °C（@ 10 L/min）
• Hot-Swap：雙腔體旁路設(shè)計，在線切換加熱芯，O? 暴露 < 10 ppm?min
• 多容量：S/M/L 三系列，流量 3 – 200 L/min 全覆蓋
• 認(rèn)證：SEMI F20、SEMI S2、RoHS、CE 壓力容器豁免

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? 核心賣點

• 交換式（Cartridge）結(jié)構(gòu)：30 秒完成加熱芯更換，無需停氣、無需工具
• 高純對應(yīng)：全 316L EP 管 + VCR 接頭，Ra ≤ 0.25 µm，Particle ≤ 1 pc/L (≥0.2 µm)
• 高溫高精度：最高 200 °C，控制精度 ±0.5 °C（@ 10 L/min）
• Hot-Swap：雙腔體旁路設(shè)計，在線切換加熱芯，O? 暴露 < 10 ppm?min
• 多容量：S/M/L 三系列，流量 3 – 200 L/min 全覆蓋
• 認(rèn)證：SEMI F20、SEMI S2、RoHS、CE 壓力容器豁免

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