日本芝浦shibaura小型擴(kuò)散油真空泵ESV系列

產(chǎn)品名稱: 日本芝浦shibaura小型擴(kuò)散油真空泵ESV系列

產(chǎn)品型號(hào):

產(chǎn)品特點(diǎn): 日本芝浦shibaura小型擴(kuò)散油真空泵ESV系列
該系列采用ESV-6或以下的環(huán)形加熱器和ESV-8或以上的內(nèi)部熱式護(hù)套加熱器，以從超高真空區(qū)域到高/中/真空區(qū)域獲得穩(wěn)定的壓力。防止因機(jī)油碰撞而引起的壓力波動(dòng)。
ESV系列由于提高了加熱油的熱效率（與我們公司相比），因此具有運(yùn)行時(shí)間短，排量大和臨界背壓高的特點(diǎn)。它還需要較少的液壓油。

日本芝浦shibaura小型擴(kuò)散油真空泵ESV系列 的詳細(xì)介紹

日本芝浦shibaura小型擴(kuò)散油真空泵ESV系列

ESV系列的功能

該系列采用ESV-6或以下的環(huán)形加熱器和ESV-8或以上的內(nèi)部熱式護(hù)套加熱器，以從超高真空區(qū)域到高/中/真空區(qū)域獲得穩(wěn)定的壓力。防止因機(jī)油碰撞而引起的壓力波動(dòng)。
ESV系列由于提高了加熱油的熱效率（與我們公司相比），因此具有運(yùn)行時(shí)間短，排量大和臨界背壓高的特點(diǎn)。它還需要較少的液壓油。

使用例

各種真空爐
各種實(shí)驗(yàn)的排氣裝置
管材制造設(shè)備
各種成膜設(shè)備
電子束焊接
電子顯微鏡

日本芝浦shibaura小型擴(kuò)散油真空泵ESV系列

ESV系列陣容

模型		單元	ESV-3	ESV-4	ESV-6
抽速		升/秒	380	580	1,200
極限壓力		帕	10 ^-6	10 ^-6	10 ^-6
工作壓力范圍		帕	10 ^-6?3.3 ×10 ^-1	10 ^-6?3.3 ×10 ^-1	10 ^-6?0.4
臨界背壓		帕	40	40	40
大排量		帕升/秒	93	190	260
用油			高腰F-4	高腰F-4	高腰F-4
油量		大號(hào)	0.12	0.18	0.3
墊片			維通	維通	維通
加熱器	格式		云母帶	云母帶	云母帶
	電壓，相	ACV，相	200，1	200，1	200，1
	格式	千瓦	0.55	0.75	1.2
錄取			VG80	VG100	VG150
輔助口			VG25	VG25	VG50
冷卻方式			水冷	水冷	水冷
冷卻水量		L / min，在25℃時(shí)	1.1	1.5	2
輔助泵			DRP-360Ⅲ或RP-360Z	DRP-800或RP-800ZⅡ	DRP-800或RP-800ZⅡ
擋板格式			3C（雪佛龍）	4C（雪佛龍）	6C（雪佛龍）
帶擋板的抽速		升/秒	165	240	450
擋板冷卻水量		L / min，在25℃時(shí)	1.1	1.5	2
機(jī)油倒流率		cm ³ / cm ²分鐘	10 ^-8	10 ^-8	10 ^-8
材料	圓筒		不銹	不銹	不銹
材料	噴射		鐵（鍍鎳）	鐵（鍍鎳）	鐵（鍍鎳）
大眾		公斤	8.5	11	20

模型		單元	ESV-8	ESV-10	ESV-12
抽速		升/秒	2,000	3,000	4,500
極限壓力		帕	10 ^-6	10 ^-6	10 ^-6
工作壓力范圍		帕	10 ^-6?3.3 ×10 ^-1	10 ^-6?3.3 ×10 ^-1	10 ^-5?0.4
臨界背壓		帕	46	40	37
大排量		帕升/秒	400	460	800
用油			高腰F-4	高腰F-4	獅子A
油量		大號(hào)	0.6	1個(gè)	1個(gè)
墊片			維通	維通	氯丁橡膠
加熱器	格式		種子	種子	種子
	電壓，相	ACV，相	200，1	200、3	200、3
	格式	千瓦	1.6	2.5	3.2
錄取			VG200	VG250	VG300
輔助口			VG50	VG50	VG80
冷卻方式			水冷	水冷	水冷
冷卻水量		L / min，在25℃時(shí)	2.5	五	6
輔助泵			DRP-1500或RP-1200ZⅡ	DRP-1500或RP-1200ZⅡ	RP-1200ZII x 2
擋板格式			8C（雪佛龍）	10C（雪佛龍）	12C（雪佛龍）
帶擋板的抽速		升/秒	800	1,200	1,800
擋板冷卻水量		L / min，在25℃時(shí)	2.5	五	6
機(jī)油倒流率		cm ³ / cm ²分鐘	10 ^-8	10 ^-8	10 ^-7
材料	圓筒		不銹	不銹	鐵（鍍鎳）
材料	噴射		鐵（鍍鎳）	鐵（鍍鎳）	鐵（鍍鎳）
大眾		公斤	二十五	45	55