半導體工業(yè)用緊湊型空冷干式真空泵

產品名稱: 半導體工業(yè)用緊湊型空冷干式真空泵

產品型號: KTS系列

產品特點: 半導體工業(yè)用緊湊型空冷干式真空泵
無油 · 空冷 · 單級雙螺桿 · 耐粉塵 · 潔凈兼容
33-80 L/min · 極限 3.3 Pa · 重量 16-28 kg · 并排/移動
一、產品定位
半導體工業(yè)：MOCVD 前級、干刻、離子注入、ALD、溶劑回收
緊湊型空冷：16 kg 起，底面積 A4-A5，可放通風櫥/移動車
干式無油：無冷卻水，Class 100 兼容，無油污染
耐粉塵：離子鍍

半導體工業(yè)用緊湊型空冷干式真空泵 的詳細介紹

半導體工業(yè)用緊湊型空冷干式真空泵半導體工業(yè)用緊湊型空冷干式真空泵

三、功能亮點

3.3 Pa 空冷極限：比同級水環(huán)泵極限低 100 倍，適合 MOCVD 前級
16 kg 超輕：比同級水冷泵輕 50 %，可手提移動
離子鍍硬鉻螺桿：耐粉塵、耐冷凝液，壽命 20,000 h
可拆式粉塵阱：5 µm 顆粒在線捕集，30 s 清理
磁耦合零泄漏：Class 100 潔凈室兼容，無油污染
54 dB 靜音：比水冷泵低 12 dB，24 h 運行不擾人

四、典型應用系統(tǒng)

復制

MOCVD 前級真空┌─ MOCVD 腔體 ─┐│               │進口← KTS-60 ← 粉塵過濾器（可選）│               │└─ 回大氣 ─────┘

泵進口接 MOCVD 腔體，3.3 Pa 極限，抽氣時間縮短 30 %
粉塵過濾器捕集 GaN 微粒，延長泵壽命

五、實測數據（MOCVD 驗證）

MOCVD 腔體 100 L，室溫 25 ℃
KTS-60 50 Hz 運行：

2 min 達到 20 Pa
5 min 極限 3.3 Pa
連續(xù) 8 h 外殼 <45 ℃，無冷卻水
噪聲 54 dB（比冰箱低）

六、選型與配件

表格

復制

件號	說明
KTS-60-200	200 V 單相標準型
KTS-60-EX	防爆型 Ex d IIB T4（可選）
KTS-60-CT	溶劑冷阱套件（玻璃+干冰）
KTS-60-NW25	NW25 快接法蘭套件

七、維護與可靠性

螺桿：離子鍍硬鉻+DLC，壽命 20,000 h，免維護
粉塵阱：每月清理一次
磁耦合：無磨損，年漂移 < 0.5 %
整機 2 年質保，10 年配件保障

八、結論

Unozawa KTS 系列以「3.3 Pa 空冷極限 + 16 kg 超輕 + 離子鍍硬鉻螺桿 + 54 dB 靜音」四合一設計，讓半導體工業(yè)獲得「無油、無冷卻水、耐粉塵」真空源，是緊湊型空冷干式真空泵的「半導體標準機」

三、功能亮點

3.3 Pa 空冷極限：比同級水環(huán)泵極限低 100 倍，適合 MOCVD 前級
16 kg 超輕：比同級水冷泵輕 50 %，可手提移動
離子鍍硬鉻螺桿：耐粉塵、耐冷凝液，壽命 20,000 h
可拆式粉塵阱：5 µm 顆粒在線捕集，30 s 清理
磁耦合零泄漏：Class 100 潔凈室兼容，無油污染
54 dB 靜音：比水冷泵低 12 dB，24 h 運行不擾人

四、典型應用系統(tǒng)

復制

MOCVD 前級真空┌─ MOCVD 腔體 ─┐│               │進口← KTS-60 ← 粉塵過濾器（可選）│               │└─ 回大氣 ─────┘

泵進口接 MOCVD 腔體，3.3 Pa 極限，抽氣時間縮短 30 %
粉塵過濾器捕集 GaN 微粒，延長泵壽命

五、實測數據（MOCVD 驗證）

MOCVD 腔體 100 L，室溫 25 ℃
KTS-60 50 Hz 運行：

2 min 達到 20 Pa
5 min 極限 3.3 Pa
連續(xù) 8 h 外殼 <45 ℃，無冷卻水
噪聲 54 dB（比冰箱低）

六、選型與配件

表格

復制

件號	說明
KTS-60-200	200 V 單相標準型
KTS-60-EX	防爆型 Ex d IIB T4（可選）
KTS-60-CT	溶劑冷阱套件（玻璃+干冰）
KTS-60-NW25	NW25 快接法蘭套件