技術(shù)文章
膜片干式真空泵：多領(lǐng)域應用案例分析
一、產(chǎn)品概述
ULVAC DA-121D 是一款由日本愛發(fā)科（ULVAC）生產(chǎn)的膜片干式真空泵。該泵通過橡膠膜片的往復運動實現(xiàn)真空排氣，結(jié)構(gòu)簡單，操作方便 。作為標準型干式真空泵，DA-121D 在氣體接觸部位不使用油，因此維護簡單且適用于需要清潔環(huán)境的應用。
二、工作原理
膜片干式真空泵利用橡膠膜片的往復運動來壓縮和排出氣體，從而形成真空環(huán)境。這種設(shè)計使得泵在運行過程中無需使用油或其他液體，避免了油蒸氣污染，特別適合對清潔度要求較高的應用。DA-121D 采用兩級排氣系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)比單級排氣更低的極限壓力。
三、技術(shù)參數(shù)
以下是 ULVAC DA-121D 的主要技術(shù)參數(shù)
| 項目 | 單位 | 50Hz | 60Hz |
|---|---|---|---|
| 實際抽速 | L/min | 120 | 145 |
| 極限壓力 | Pa | 3.3×103 | |
| 表壓極限壓力 | kPa | -98 | |
| 電機功率 | W | 400 | |
| 重量 | kg | 26 | |
| 進/排氣口直徑 | mm | O.D.φ16×I.D.φ12 (G 1/2) | |
| 環(huán)境溫度范圍 | ℃ | 0～40 | |
| 尺寸（寬×長×高） | mm | 193.5×411×285 |
四、應用領(lǐng)域
ULVAC DA-121D 適用于多種工業(yè)和實驗室場景，包括但不限于：
- 真空吸盤：用于材料搬運和固定
- 真空鑷子：在醫(yī)療和實驗室中使用
- 半導體檢測設(shè)備：用于高精度檢測
- 分析儀器：如質(zhì)譜儀和光譜儀
- 包裝機械：用于食品和藥品包裝
五、產(chǎn)品特點
- 無油設(shè)計：泵體內(nèi)部不使用油，避免了油污染
- 兩級排氣系統(tǒng)：提供比單級排氣更低的極限壓力
- 內(nèi)置熱保護器：確保運行安全
- 易于維護：結(jié)構(gòu)簡單，維護成本低
- 大氣壓啟動：可以在大氣壓下直接啟動
六、注意事項
- 避免吸入腐蝕性氣體：如有機溶劑、水蒸氣等
- 防止異物進入：避免灰塵和顆粒進入泵
- 避免長時間在接近大氣壓下運行：可能導致泵過早損壞
- 重新啟動：如果泵在負載運行后停止，需先恢復到大氣壓狀態(tài)
七、總結(jié)
ULVAC DA-121D 膜片干式真空泵憑借其無油設(shè)計、簡單結(jié)構(gòu)和高效性能，成為工業(yè)和科研領(lǐng)域中理想的真空解決方案。其廣泛的應用領(lǐng)域和易于維護的特點使其在市場上具有較高的性價比
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