半導(dǎo)體小尺寸掩膜應(yīng)用化工場景自動(dòng)純水裝置

產(chǎn)品名稱: 半導(dǎo)體小尺寸掩膜應(yīng)用化工場景自動(dòng)純水裝置

產(chǎn)品型號: ASK型

產(chǎn)品特點(diǎn): 半導(dǎo)體小尺寸掩膜應(yīng)用化工場景自動(dòng)純水裝置
ASK 型位
系列全稱：Automatic Small reagent-grade water Kit ASK
產(chǎn)水等級：JIS K 0557 A5（≈ ASTM Type 1+，> 18.2 MΩ·cm，TOC ≤ 5 ppb，粒子 0.05 µm ≤ 100 個(gè)/mL）
結(jié)構(gòu)：一次 RO → 混床精制柱 → 0.05 µm 終端囊式 → 循環(huán)回

半導(dǎo)體小尺寸掩膜應(yīng)用化工場景自動(dòng)純水裝置 的詳細(xì)介紹

半導(dǎo)體小尺寸掩膜應(yīng)用化工場景自動(dòng)純水裝置

ASK 型定位

系列全稱：Automatic Small reagent-grade water Kit ASK
產(chǎn)水等級：JIS K 0557 A5（≈ ASTM Type 1+，> 18.2 MΩ·cm，TOC ≤ 5 ppb，粒子 0.05 µm ≤ 100 個(gè)/mL）
結(jié)構(gòu)：一次 RO → 混床精制柱 → 0.05 µm 終端囊式 → 循環(huán)回路，無再生化學(xué)排放，柱體一次性更換。
控制：PLC 一鍵自動(dòng)運(yùn)行，缺水、低壓、超純水質(zhì) (18.2 MΩ·cm 下 17.0 MΩ·cm 設(shè)定) 自動(dòng)切換至備用旁路，帶 4–20 mA 外部輸出，可遠(yuǎn)程給曝光機(jī)主機(jī)“OK/NG"信號

ASK 位

系列全稱：Automatic Small reagent-grade water Kit ASK
產(chǎn)水等級：JIS K 0557 A5（≈ ASTM Type 1+，> 18.2 MΩ·cm，TOC ≤ 5 ppb，粒子 0.05 µm ≤ 100 個(gè)/mL）
結(jié)構(gòu)：一次 RO → 混床精制柱 → 0.05 µm 終端囊式 → 循環(huán)回路，無再生化學(xué)排放，柱體一次性更換。
控制：PLC 一鍵自動(dòng)運(yùn)行，缺水、低壓、超純水質(zhì) (18.2 MΩ·cm 下 17.0 MΩ·cm 設(shè)定) 自動(dòng)切換至備用旁路，帶 4–20 mA 外部輸出，可遠(yuǎn)程給曝光機(jī)主機(jī)“OK/NG"信號

ASK定位

系列全稱：Automatic Small reagent-grade water Kit ASK
產(chǎn)水等級：JIS K 0557 A5（≈ ASTM Type 1+，> 18.2 MΩ·cm，TOC ≤ 5 ppb，粒子 0.05 µm ≤ 100 個(gè)/mL）
結(jié)構(gòu)：一次 RO → 混床精制柱 → 0.05 µm 終端囊式 → 循環(huán)回路，無再生化學(xué)排放，柱體一次性更換。
控制：PLC 一鍵自動(dòng)運(yùn)行，缺水、低壓、超純水質(zhì) (18.2 MΩ·cm 下 17.0 MΩ·cm 設(shè)定) 自動(dòng)切換至備用旁路，帶 4–20 mA 外部輸出，可遠(yuǎn)程給曝光機(jī)主機(jī)“OK/NG"信號

ASK 定位

系列全稱：Automatic Small reagent-grade water Kit ASK
產(chǎn)水等級：JIS K 0557 A5（≈ ASTM Type 1+，> 18.2 MΩ·cm，TOC ≤ 5 ppb，粒子 0.05 µm ≤ 100 個(gè)/mL）
結(jié)構(gòu)：一次 RO → 混床精制柱 → 0.05 µm 終端囊式 → 循環(huán)回路，無再生化學(xué)排放，柱體一次性更換。
控制：PLC 一鍵自動(dòng)運(yùn)行，缺水、低壓、超純水質(zhì) (18.2 MΩ·cm 下 17.0 MΩ·cm 設(shè)定) 自動(dòng)切換至備用旁路，帶 4–20 mA 外部輸出，可遠(yuǎn)程給曝光機(jī)主機(jī)“OK/NG"信號

ASK 型定位

系列全稱：Automatic Small reagent-grade water Kit ASK
產(chǎn)水等級：JIS K 0557 A5（≈ ASTM Type 1+，> 18.2 MΩ·cm，TOC ≤ 5 ppb，粒子 0.05 µm ≤ 100 個(gè)/mL）
結(jié)構(gòu)：一次 RO → 混床精制柱 → 0.05 µm 終端囊式 → 循環(huán)回路，無再生化學(xué)排放，柱體一次性更換。
控制：PLC 一鍵自動(dòng)運(yùn)行，缺水、低壓、超純水質(zhì) (18.2 MΩ·cm 下 17.0 MΩ·cm 設(shè)定) 自動(dòng)切換至備用旁路，帶 4–20 mA 外部輸出，可遠(yuǎn)程給曝光機(jī)主機(jī)“OK/NG"信號

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