高純鹵素工藝半導(dǎo)體刻蝕壓力監(jiān)測壓力傳感器

產(chǎn)品名稱: 高純鹵素工藝半導(dǎo)體刻蝕壓力監(jiān)測壓力傳感器

產(chǎn)品型號: PC-600系列

產(chǎn)品特點(diǎn): 高純鹵素工藝半導(dǎo)體刻蝕壓力監(jiān)測壓力傳感器

日本 Pureron 的 PC-600 系列是專為 Cl?、HCl、Br?、BCl?、SiCl?、WF?、HF 等強(qiáng)腐蝕性鹵素氣體設(shè)計(jì)的高純壓力傳感器，采用全貴金屬隔膜 + 哈氏合金殼體 + 特殊鹵素鈍化工藝，在半導(dǎo)體刻蝕、LED 外延、光伏擴(kuò)散、化工合成等工藝中實(shí)現(xiàn) 長期零泄漏、零漂移、零粒子的精準(zhǔn)壓力監(jiān)測。
? 1. 適用介質(zhì)
Cl?、H

高純鹵素工藝半導(dǎo)體刻蝕壓力監(jiān)測壓力傳感器 的詳細(xì)介紹

高純鹵素工藝半導(dǎo)體刻蝕壓力監(jiān)測壓力傳感器

日本 Pureron 的 PC-600 系列是專為 Cl?、HCl、Br?、BCl?、SiCl?、WF?、HF 等強(qiáng)腐蝕性鹵素氣體設(shè)計(jì)的高純壓力傳感器，采用全貴金屬隔膜 + 哈氏合金殼體 + 特殊鹵素鈍化工藝，在半導(dǎo)體刻蝕、LED 外延、光伏擴(kuò)散、化工合成等工藝中實(shí)現(xiàn) 長期零泄漏、零漂移、零粒子的精準(zhǔn)壓力監(jiān)測。

? 1. 適用介質(zhì)

Cl?、HCl、BCl?、SiCl?、WF?、HF、Br?、SO?Hal、NF? 等
電導(dǎo)率 < 0.1 µS/cm 的超純鹵素氣體
離子注入、擴(kuò)散、刻蝕、CVD、ALD 前端供氣面板

? 2. 核心結(jié)構(gòu)

表格

復(fù)制

部件	材質(zhì)	特點(diǎn)
隔膜	Au（金） + Pt（鉑）雙層貴金屬膜	100 % 抗鹵素腐蝕，無應(yīng)力腐蝕開裂
殼體	哈氏合金 C-276 一體加工	無焊縫死角，電解拋光 Ra ≤ 0.25 µm
密封	金屬刃口密封（Metal Seal）	無 O-ring，氦漏率 < 1×10?11 Pa·m3/s
填充液	無油干式	零粒子、零油蒸氣，真空至 10?? Torr
表面鈍化	鹵素等離子體鈍化	形成 Cr?O? + Au-Pt 復(fù)合鈍化層，壽命 > 10 年

? 3. 性能參數(shù)

表格

復(fù)制

項(xiàng)目	規(guī)格
壓力范圍	0 – 0.1 MPa、0 – 0.2 MPa、0 – 1 MPa、-0.1 – 0 MPa（真空）
輸出信號	4-20 mA（兩線制）、0-5 V、0-10 V、RS-485 Modbus RTU
精度	±0.25 % FS（可選 ±0.1 %）
溫度漂移	≤ ±0.02 % FS/°C
長期漂移	≤ ±0.1 % FS/年（鹵素氣體中）
工作溫度	-20 – +80 °C（環(huán)境）、0 – +100 °C（介質(zhì)）
電源	DC 12 – 30 V
防護(hù)	IP65，可選 IP67 防爆型（Ex db IIC T6）
接氣接口	1/4" VCR 內(nèi)螺紋（面密封），可選 1/2" VCR、NW16
電氣接口	M12 ×1 4-pin 或 6-pin

? 4. 真空-高壓兩用

真空型 PC-600V：-100 – 0 kPa，金膜 + 哈氏 C276，氦質(zhì)譜檢漏 < 1×10?11 Pa·m3/s
高壓型 PC-600H：0 – 1 MPa，全金屬密封，耐壓 4 MPa 爆破測試

? 5. 典型應(yīng)用點(diǎn)

表格

復(fù)制

工藝	安裝位置	目的
Cl? 刻蝕	質(zhì)量流量計(jì) MFC 入口	實(shí)時(shí)壓力補(bǔ)償，防止 MFC 漂移
HCl 擴(kuò)散爐	爐管前端供氣面板	真空啟動(dòng)階段壓力監(jiān)視
WF? CVD	前驅(qū)體鋼瓶出口	鋼瓶加熱壓力安全聯(lián)鎖
BCl? ICP-RIE	氣體分配模塊	鹵素氣體分配平衡
HF 合成反應(yīng)器	反應(yīng)釜頂部	腐蝕性氣體壓力遠(yuǎn)傳

? 6. 壽命與維護(hù)

連續(xù)運(yùn)行 > 5 年零漂移（實(shí)測 Cl? 中 3 年漂移 < 0.05 %）
無零點(diǎn)調(diào)整：貴金屬隔膜無蠕變
年度校準(zhǔn)：只需標(biāo)準(zhǔn)氣壓源，無需拆管
返回檢修：Pureron 提供鹵素凈化 + 金膜再生服務(wù)

? 7. 選型速查

表格

復(fù)制

型號	量程	輸出	接口	備注
PC-600A-01	0 – 0.1 MPa	4-20 mA	1/4" VCR	標(biāo)準(zhǔn)型
PC-600V-00	-100 – 0 kPa	0-10 V	1/2" VCR	真空型
PC-600H-10	0 – 1 MPa	RS-485	NW16	數(shù)字型
PC-600EX-01	0 – 0.2 MPa	4-20 mA	1/4" VCR	Ex db IIC T6 防爆