純水小流量調(diào)節(jié)控制閥一體化流量控制器

純水小流量調(diào)節(jié)控制閥一體化流量控制器

1. 結(jié)構(gòu)緊湊
• 超聲波流量計與步進(jìn)電機驅(qū)動閥集成在同一外殼，無需旁路配管，可直接安裝在 1/4″PFA 管路（管外徑 6.35 mm）上，大大節(jié)省潔凈室或設(shè)備內(nèi)部空間

  。
2. 快速響應(yīng)
• 采用高性能步進(jìn)電機，全閉→全開行程僅 0.3 s，可瞬間修正流量偏差，適合頻繁變設(shè)定或脈動進(jìn)液工藝

  。
3. 寬范圍控制
• 控制比 1:20，單臺即可覆蓋 50–5 000 mL/min（視型號）。
  ? G08 型：50–500 mL/min 或 300–3 000 mL/min
  ? G10 型：200–3 000 mL/min 或 500–5 000 mL/min

  。
4. 高精度與穩(wěn)定性
• 控制精度：±1 %RD（20–100 %量程），下限 ±0.2 %FS；重復(fù)性 ±1 %RD；最小 ±2 mL/min（G08）/±4 mL/min（G10），滿足半導(dǎo)體、制藥等對微量添加的嚴(yán)格要求

  。
5. 智能化功能
• 內(nèi)置過沖抑制算法，到達(dá)設(shè)定值超調(diào) < 3 %，縮短穩(wěn)定時間。
• 8 色 LED 燈帶實時顯示“全開/調(diào)節(jié)中/異常"等狀態(tài)，無需外接指示燈即可目視確認(rèn)

  。
• 累計流量預(yù)測與瞬時流量顯示，支持本地按鍵或遠(yuǎn)程數(shù)字設(shè)定。
6. 數(shù)字通信
• 標(biāo)準(zhǔn)搭載 Modbus-RTU（RS-485），最多 31 臺組網(wǎng)，方便接入 PLC/DCS，實現(xiàn)配方批量管理

  。
7. 接液材質(zhì)與工況
• 接液部為 PFA/PTFE，耐腐蝕、低析出，適用于 10–90 °C 的純水、顯影液、剝離液、蝕刻液等。
• 使用壓力 0.1–0.3 MPa(G)，耐壓 0.5 MPa；環(huán)境溫度 15–50 °C，濕度 ≤ 80 %RH（無凝露）

  。
8. 典型應(yīng)用
• 半導(dǎo)體濕法清洗、顯影、蝕刻工序的精密藥液補給
• 制藥配液、透析水系統(tǒng)的小流量定量添加
• 實驗室或中試線的微量純水/溶劑控制