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產(chǎn)品資料

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日本shibaura電機(jī)直聯(lián)式油旋轉(zhuǎn)真空泵

產(chǎn)品名稱: 日本shibaura電機(jī)直聯(lián)式油旋轉(zhuǎn)真空泵

產(chǎn)品型號(hào): DRP系列

產(chǎn)品特點(diǎn): 日本shibaura電機(jī)直聯(lián)式油旋轉(zhuǎn)真空泵
DRP系列的特點(diǎn)
兩段式，極限壓力低
采用電機(jī)直接連接方式，結(jié)構(gòu)緊湊，輕便，粉塵少，可以保持清潔的環(huán)境。
低振動(dòng)和低噪音
維修方便
強(qiáng)大的氣鎮(zhèn)閥（蒸汽處理閥）可抵抗蒸汽和可冷凝氣體的排放

日本shibaura電機(jī)直聯(lián)式油旋轉(zhuǎn)真空泵 的詳細(xì)介紹

日本shibaura電機(jī)直聯(lián)式油旋轉(zhuǎn)真空泵

使用例

濺射設(shè)備
氣相沉積設(shè)備
各種等離子設(shè)備
真空爐
各種真空測試設(shè)備

DRP系列陣容

模型	單元	DRP-180YⅡ	DRP-360YⅡ	DRP-360Ⅲ
施工		包括轉(zhuǎn)子葉片式兩級氣鎮(zhèn)閥
設(shè)計(jì)抽速	50 Hz，L /分鐘	150	300	300
設(shè)計(jì)抽速	60 Hz，L /分鐘	180	360	360
極限壓力	帕	2.7×10 ^-2（* 2）	2.7×10 ^-2（* 2）	6.7×10 ^-2（* 2）
所需馬達(dá)	ACV，相，kW	200、3、0.4（* 3）	200、3、0.75（* 3）（* 4）	200、3、0.73（* 3）（* 5）
錄取		NW25（* 6）	NW25（* 6）	NW25（* 6）
排氣口		PS1	PS1	PS1
用油		TSR-1200	TSR-1200	TSR-1200
油量	大號(hào)	0.8	1.2	1.5
尺寸（* 1）	寬x深x高（毫米）	261 x 494.5 x 209	261 x 572 x 172	260 x 503 x 176
質(zhì)量（* 1）	公斤	27	38	34
水處理量	升/小時(shí)	0.2	0.4	0.4
噪聲	50 Hz，分貝（A）	60	61	58
噪聲	60 Hz，分貝（A）	63	64	61
振動(dòng)		振幅0.05mm以下
冷卻方式		強(qiáng)制冷卻（風(fēng)冷）

模型	單元	DRP-800	DRP-1500
施工		包括轉(zhuǎn)子葉片式兩級氣鎮(zhèn)閥
設(shè)計(jì)抽速	50 Hz，L /分鐘	700	1,250
設(shè)計(jì)抽速	60 Hz，L /分鐘	840	1,500
極限壓力	帕	6.7×10 ^-2（* 2）	6.7×10 ^-2（* 2）
所需馬達(dá)	ACV，相，kW	200、3、1.5（* 3）（* 4）	200、3、2.2（* 3）（* 4）
錄取		VG50	VG50
排氣口		PS1 1/2	PS2
用油		TSR-1200	TSR-1200
油量	大號(hào)	2.3	3.5
尺寸（* 1）	寬x深x高（毫米）	441 x 608 x 237	496 x 721.5 x 253
質(zhì)量（* 1）	公斤	67	96.5
水處理量	升/小時(shí)	0.8	1.5
噪聲	50Hz，分貝（A）	63	73
噪聲	60Hz，分貝（A）	67	76
振動(dòng)		振幅0.05mm以下
冷卻方式		強(qiáng)制冷卻（風(fēng)冷）

* 1表示包括底座，電機(jī)等在內(nèi)的設(shè)定值。
* 2用MacLeod真空計(jì)測量
* 3全
封閉式風(fēng)扇電機(jī)* 4 IE3規(guī)格
* 5 CE規(guī)格（相當(dāng)于IE1）
* 6可選

[DRP-180YII]真空保持型
[DRP-360YII]真空保持型
電機(jī)符合相關(guān)法規(guī)（IE3）

[DRP-360Ⅲ]自動(dòng)泄漏型
CE規(guī)格電機(jī)（IE1）
[DRP-800]
電機(jī)符合鼎級法規(guī)（IE3）

[DRP-1500]
電機(jī)符合相關(guān)法規(guī)（IE3）

*規(guī)格和建議零售價(jià)如有變更，恕不另行通知。

預(yù)防措施

我們的油旋轉(zhuǎn)真空泵是根據(jù)以下用途設(shè)計(jì)和制造的。
（1）吸入氣體的種類空氣和惰性氣體（N ₂，CO ₂，He，Ne，Ar，Xe，Rn ? ? ?）
（2）吸入氣體的溫度5-40 ℃
（3）環(huán)境溫度5? 40°C
（4）常壓泵壓約1.3×10 ² Pa以下
（5）其他真空和大氣重復(fù)的頻率低。切勿吸入水等液體。
*如果條件與上述條件不同，請與我們聯(lián)系。
請注意，如果將標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格的真空泵用于以下目的，將會(huì)縮短其使用壽命。
（1）腐蝕性氣體（Cl ₂，CCl ₄，CF ₄，BBr ₃，HBr···）
[示例]
即使在特殊規(guī)格的真空泵中，也進(jìn)行離子注入，蝕刻，CVD等操作，易燃，易揮發(fā)請勿吸入該物質(zhì)。
（2）排放大量水蒸氣，化學(xué)物質(zhì)，溶劑，粉末等。
（3）工作壓力為1.3 kPa以上時(shí)。
（4）真空和大氣的頻率高時(shí)。
（5）請勿吸入氨氣。